一种晶圆运输车的防震装置.pdfVIP

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2024-03-16 发布于四川
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一种晶圆运输车的防震装置.pdf

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本实用新型提供了一种晶圆运输车的防震装置，属于晶圆运输技术领域。一种晶圆运输车的防震装置，包括车体，车体包括底板、置料盒、防尘盖，所述底板上安装有置料盒，所述置料盒的四个侧壁上都具有凸出板，其中两个不相邻的所述凸出板上都安装第一限位板和第二限位板，所述第一限位板与第二限位板之间具有卡接槽，防尘盖可拆卸连接在第一限位板与第二限位板之间的卡接槽内；所述置料盒内阵列设置有若干置料槽，所述置料槽的左右两侧都设有减震组件，所述置料槽内还固定连接有若干减震橡胶块，所述晶圆能够抵靠在减震橡胶块上。本实用新型具

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220594993U

(45)授权公告日2024.03.15

(21)申请号202322137907.X

(22)申请日2023.08.09

(73)专利权人嘉兴晶鑫电子股份有限公司

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