第十五章MEMS传感器讲述课件.pptx

第十五章MEMS传感器讲述课件MEMS传感器概述MEMS传感器的设计与制造MEMS传感器的性能参数MEMS传感器的应用与发展趋势MEMS传感器在物联网中的应用CATALOGUE目录01MEMS传感器概述CHAPTER定义与特点定义MEMS传感器是一种基于微电子机械系统技术制造的传感器，利用微型机械结构实现对物理量（如力、温度、湿度、压力、位移等）的检测和转换。特点小型化、轻量化、低功耗、高精度、高可靠性、快速响应等。工作原理信号处理电路将敏感元件输出的电信号进行处理，转换为可读信号输出。敏感元件MEMS传感器的核心部分，用于感知外部物理量，通过机械、电学或热学等效应将物理量转换为电信号。输出接