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用光干涉极值法动态测定膜厚课件引言光干涉现象与极值法实验装置与操作流程数据处理与分析结果与讨论结论与展望CATALOGUE目录01引言目的和背景目的了解光干涉极值法在动态测定膜厚中的应用。背景随着科技的发展,薄膜材料在各个领域的应用越来越广泛,如电子、光学、生物技术等。膜厚的精确测量对于保证产品质量和性能至关重要。光干涉极值法作为一种非接触、高精度的测量方法,具有广泛的应用前景。实验原理简介基本原理:光干涉极值法基于光的干涉效应,通过测量干涉图谱的极值位置来计算膜厚。当两束相干光发生干涉时,会在空间形成明暗交替的干涉图谱。干涉极大值和极小值的位置与光的波长、干涉臂长度以及薄膜的折射率有关。通过
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