一种硼扩散方法.pdfVIP

下载本文档

6
0
约7.65千字
约 7页
2024-02-14 发布于四川
举报
版权申诉

一种硼扩散方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种硼扩散方法，具体包括以下步骤：将预处理后的硅片使用等离子体增强化学气相沉积的方法，沉积固态的含硼氧化硅层；将硅片置于高温管式扩散炉中，进行高温处理最终形成硼发射极。本发明提供的一种硼扩散方法，通过先用等离子体增强化学气相沉积法沉积固态硼源，再用管式扩散炉推结的方式，可以有效减少富硼层的形成，减少硼扩时对表面绒面的损伤，并且基本没有绕镀，同时均匀性更好，最终提高了电池的开路电压和短路电流，提升了电池转换效率。此工艺方法可以利用现有的设备实现，适合应用于工业化生产中。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117558804A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202310160626.8

(22)申请日2023.02.24

(71)申请人江苏工程职业技术学院

地址22