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本发明提供了一种利用原子层沉积制备氧化镓薄膜材料的腔室，包括腔体，腔体内顶端设置有第一连通口，腔体的两对称的竖向侧上中段处分别开设有第二连通口，腔体内靠近顶端处转动设置有传动轮组，传动轮组由两个传动齿轮组成，且在传动轮组外侧绕接有传送带圈，传动带圈的外侧靠近底面处固定有连接槽，连接槽内固定有喷头工作组，腔体内靠近底端处转动连接有丝杠，丝杠外侧活动连接有底座，底座中间开设有贯通的螺纹孔，丝杠螺纹连接在螺纹孔内，底座顶面四角处分别固定有连接柱，连接柱上固定有工作台，工作台用于放置衬底，与喷头工作组相
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117512567A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311639071.1
(22)申请日2023.12.04
(71)申请人中北大学
地址030051
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