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一种图形修正方法，包括：获得探测版图，所述探测版图包括若干所述第一曝光图形和若干所述第二曝光图形，通过在探测版图内建立粗探测区的方法，且以所述第一曝光图形与所述第二曝光图形相邻的轮廓边为第一轮廓边，以所述第二曝光图形与所述第一曝光图形相邻的轮廓边为第二轮廓边，获取所述第一轮廓边和所述第二轮廓边之间的最小距离值，所述最小距离值用于计算相邻所述第一曝光图形和所述第二曝光图形之间的桥连缺陷的概率，所述最小距离值越小，产生桥连缺陷的概率越大，仅将可能产生桥连缺陷的第一轮廓边和第二轮廓边包括在各精细探测区
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117518708A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311602348.3
(22)申请日2023.11.27
(71)申请人广东省大湾区集成电路与系统应用
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