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本发明公开一种垂直调制的谐振式电场传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。所述传感器包括：感应电极、垂直驱动单元、衔接梁、激励输入锚点、感应输出锚点和扭转梁组；所述垂直驱动单元包括交叉设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极，所述扭转梁组包括两个扭转梁；所述可动梳齿电极通过衔接梁与所述感应电极连接；所述可动梳齿电极的两侧分别与两个扭转梁刚性连接；所述固定梳齿电极与所述激励输入锚点连接；所述感应输出锚点与所述感应电极连接。本发明采用垂直驱动单元实现离面振动调制被测电场，使感应电极可以产生较大的感应电流，提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117517803A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311500694.0
(22)申请日2023.11.13
(71)申请人北京信息科技大学
地址1001
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