MTF测试仪MASK文件编写标准作业书.docVIP

文件编号

QT-WI-MTF-101011

文件名称

版本

A1

初版发行日期

2011-05

WOCMTF测试仪MASK文件编写标准作业书

页次

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新版发行日期

2014-12-05

制作部门

WOC事业部

PAGE

版次

修订理由与内容摘要

修订页次

发行日期

修订人

1.目的

按照此操作标准作业书进行WOCMTF测试仪测试过程中的MASK文件的编写，以标准化作业流程，提高产品良率为目的。

2.范围

3.名词解释

Rectangular矩形（框）

Circular圆形（框）

4.职责

4.1WOC事业部（生产）

4.1.1负责按本操作标准作业书之相关流程进行作业。

4.2WOC事业部（工程）

4.2.1负责本操作标准作业书的制定,会签，更新，发行。

4.2.2负责对该种机台操作人员的培训。

5.作业流程图

无

6.作业程序

6.1打开软件

6.1.1打开电脑桌面上的图标名为“TrayGenerator”的软件，进入软件界面，如图1和图2

图1

图2

6.2作业步骤

6.2.1打开后缀名为trg的文件：“File→open”，弹出对话框，选择文件路径，“C:\backup\QTQ3012300.trg”并打开，如图3所示

图3

6.2.2打开文件后缀名为.tmf的文件，“Edit→LoadMask”，出现对话框，选择文件路径：“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”,打开“QTQ3012300Postbondalltest.tmf”如图4、5，然后选择图形截取方式，Rectangular为矩形框，Circular为圆形框。如图4、5所示:

图4

图5

6.2.3根据实际情况对mask文件进行编写和修改。编写完成后，通知领班或技术员对结果进行确认。

6.2.4点击“Edit→Savemask”保存到“C:\Programfiles\TRIOPTICSGmbH\MTFPRO4softworeV2_x\TrayData”目录下，并以下列格式命名：

QTQ3012300PostBondalltest_LotID_waferID_设备编号_日期_编号

设备编号：MTF01~MTF09

编号：01~09表示mask文件分割的次数

例如：QTQ3012300PostBondalltest_PL110101001_01A_MTF01_2011-05-0

图6

7.相关文件

《WOCMTF测试仪操作标准作业书》

《WOCMTFICOS测试数据保存标准作业书》

8.相关表单

《WOCmaptack作业记录表》