一种薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

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2024-01-24 发布于四川
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一种薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdf

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本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及射频滤波器技术领域，包括：衬底以及依次层叠于所述衬底上的下电极、压电层、电极框架层和上电极，所述衬底和所述下电极之间形成空腔，所述下电极在所述空腔的垂直投影范围内形成增Q结构，所述上电极和所述压电层之间形成第一空气翼和第一空气桥。第一空气翼和第一空气桥能提高谐振器的Q值；而本申请通过在下电极形成增Q结构，改变了下电极的结构，进一步有效提高了谐振器的Q值。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117439569A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311763257.8H03H9/02(2006.01)