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本发明公开了一种焦深可控的低相干超分辨率紧聚焦光针光源生成系统和方法，首先激光器发出激光束，经过扩束镜和线偏器，形成线偏振激光束，再经过反射镜反射到反射型相位空间光调制器进行相位调制，之后产生的部分相干光束经过薄透镜、小孔光阑组成的4f系统，得到准直并滤波之后的一级衍射光，再经过径向偏振转换器，将线偏光转换为径向偏振光，即部分相干光束，最后经过一个高数值的聚焦透镜进行聚焦，生成低相干超分辨率紧聚焦光针。本发明方案通过调整部分相干光的关联结构，生成焦深可控的具有高分辨率和优越深宽比的低相干纳米光针
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117420677A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311395806.0
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人南京理工大学
地址210094
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