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本发明提供了一种零件真空吸附和氩气保护一体装置，包括真空吸附部分与氩气保护部分；真空吸附装夹件包括工件装夹台，工件装夹台上设置有一个或多个的多孔蜂窝真空吸附结构；所述装夹腔与所述一级真空腔通过所述蜂窝通孔相连通。所述凸起圆台结构表面涂有Teflon涂层。氩气保护部分包括光路可通过性玻璃板，所述光路可通过性玻璃板安装在所述氩气保护件顶部，外界光线能够通过光路可通过性玻璃板照射入装夹腔中。本发明通过在真空吸附装夹件上设置多孔蜂窝真空吸附结构，并在多孔蜂窝真空吸附结构上涂覆特氟龙涂层的手段，保证了软薄
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117415449A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311577128.X
(22)申请日2023.11.23
(71)申请人上海航天设备制造总厂有限公司
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