GB/T 42191-2023MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法.pdf

JCS31.080.99

CCSL59GB

中华人民共和国国家标准

GB/T42191-2023

MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

Testmeth创softheperformancesforMEMSpiezoresistivepressure-sensitivedevice

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局~-tr--

国家标准化管理委员会缸，叩

GB/T42191-2023

目次

前言…………………………I

1泡围·

2规范性引用文件－

3术语和l定义………·

4试验条件及规定·

4.1大气条件

4.2其他环境条件………………………2

4.3测试设备……………2

5试验项目及方法…........……………….2

5.1i式验项目……………2

5.2试验方法……………2

GB/T42191-2023

』．

目。昌

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第I部分：标准化文件的结构和l起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国做机电技术标准化技术委员会CSAC/TC336）提出并归口。

本文件起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博

智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光甫电子股份有限公司、汪门市润字传感器科技有限公司、宁

被志伦电子有限公司、广州奥;M｝电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有

限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天

科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武叹飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份

有限公司、凰山传感器测控技术有限公司。

本文件主要起草人：张戚、顾枫、李根桦、陈广忠、李宋、张亚婷、张良、陈立国、林瑞梅、李树成、茅曙、

张宾、王鹏、李晓披、许宙、王蹄冰、盼、路、高峰、明志茂、曹万、陈君杰、王冰。

I

GB/T42191-2023

MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

1范围

本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。

本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，谊日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于

本文件。

GB/T2423.1-2008电工电子产品环境试验第2部分：民验方法试验A：低瘟

GB