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本发明实施例提供一种用于晶圆的全自动测量系统、方法、设备和介质。该系统包括机器人模块、机械接口模块和测量模块；所述机器人模块，用于当满足第一预设条件时，从所述机械接口模块获取所述晶圆，并将所述晶圆传送至测量模块，当满足第二预设条件时，获取所述测量模块上的所述晶圆，并将所述晶圆传送至所述机械接口模块；所述机械接口模块，用于放置待测量的所述晶圆；所述测量模块，用于测量所述晶圆的电阻，本发明实施例通过在机器人模块和各模块间进行安全互锁，各模块配合进行晶圆自动测量，解决了晶圆测量场景中晶圆测量效率低的技
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117410197A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311347117.2G01V7/00(2006.01)
(22)申请日2023.10.1
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