- 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及微电子制造技术领域,具体涉及一种基于改进遗传算法的光刻掩膜的优化方法,为解决掩膜优化采用传统的遗传算法有时会陷入局部最优解的技术问题。该优化方法包括获取初始掩膜图像和目标图像;定义光刻仿真函数,计算传递函数;对初始掩膜进行霍普金斯光刻仿真,获取光刻后的仿真图像,计算仿真图像与目标图像的图形偏差PE;生成初始解,对仿真图像进行优化;进行选择操作;进行交叉操作,交换父代个体的基因段;进行变异操作,为遗传算法有哪些信誉好的足球投注网站过程引入随机扰动;使用遗传算法进行掩膜优化;输出优化后的掩膜,并进行霍普金斯光刻
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117406548A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311313726.6
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人安徽工程大学
地址241000
有哪些信誉好的足球投注网站
文档评论(0)