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本发明公开了一种晶圆搬运机械手，包括载架、翻盘、动力组件和搬运组件，载架转动设置于架体上，载架连接有偏转组件，载架上开设有两个容槽，翻盘对立的两侧分别设置有可嵌入容槽的套体，翻盘通过活动组件与载架活动连接，活动组件包括转动设置在载架中心的轴体，轴体上连接有至少一个凸轮，凸轮与翻盘相接触，动力组件配置在载架上，用于驱动翻盘枢转，搬运组件包括移动架和驱动移动沿翻盘滑动的第一伸缩源，移动架上设置有两组衬板，两组衬板上分别设置有若干吸头，若干吸头分别连接有吸管，可产生负压吸取晶圆；本发明晶圆放置在指定位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117410226A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311310874.2
(22)申请日2023.10.10
(71)申请人新启航半导体有限公司
地址52
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