中心偏差监测调整激光差动共焦透镜厚度测量方法与装置.pdfVIP

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2024-01-17 发布于四川
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中心偏差监测调整激光差动共焦透镜厚度测量方法与装置.pdf

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本发明公开的中心偏差监测调整激光差动共焦透镜厚度测量方法与装置，属于精密光学检测领域。本发明对自准直光路和差动共焦定焦光路进行共路设计，利用自准直光路对被测元件偏心和离轴量进行测量，结合五维调整结构对被测透镜的安装偏心和倾斜位姿误差进行补偿，保证被测元件轴线与测量光轴严格重合，从而消除阿贝误差；利用激光差动共焦光路对被测透镜上顶点和下顶点进行高分辨层析定焦，有效克服样品表面粗面形差异和环境气流干扰等影响，实现对被测透镜厚度参数的高分辨、高精度测量。本发明适用于球面元件、轴对称非球面元件等多种面形

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117405032A

(43)申请公布日2024.01.16

(21)申请号202311330345.9

(22)申请日2023.10.13

(71)申请人北京理工大学

地址100081