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本发明公开了一种具有高度组织均匀性ITO靶材的制造方法，具体涉及高端ITO靶材产品制备技术领域，步骤一、原料预处理；步骤二、SnO2的混合；步骤三、球磨混合解聚；步骤四、继续球磨混合；步骤五、均化器分散；步骤六、喷雾造粒；步骤七、模压和CIP；步骤八、坯体的干燥、脱脂和烧结；步骤九、加工；步骤十、表面处理。本发明通过对烧结温度、时间等各项参数的控制，能够获得具有更高组织和性能的ITO靶材，即可生产出第二相分布均匀、晶粒尺寸均匀、微孔极少且均在0.2μm以下的整体具有高度组织均匀性ITO靶材，可满
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117401969A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311267710.6
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人合肥领动液压设备有限公司
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