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本发明提供了一种化学需氧量检测微纳传感器及其制备方法和应用，传感器包括硅基片与玻璃基片；所述制备方法包括：硅基片表面掺硼金刚石电极的制备以及图形化；采用BOE溶液湿法刻蚀完成SiO2绝缘层的图案化；采用lift‑off工艺在SiO2绝缘层上制备一层Cr作为黏附层；采用lift‑off工艺在黏附层上制备Pt对电极和电极引出线；在玻璃基片表面制备微型检测腔；通过激光打孔在玻璃基片表面制备进样口、出样口、引线接口；玻璃基片与硅基片的键合；对器件划片、打线、封装后，完成整个传感器的制备。所述应用包括使用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117405755A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311095771.9
(22)申请日2023.08.29
(71)申请人宁波大学
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