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本发明涉及蚀刻测试装置技术领域，特别涉及一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法，包括实验槽和测定箱，所述测定箱焊接固定在实验槽沿长度方向的一端，所述测定箱内部顶部中心处安装有扫描电子显微镜，所述实验槽内部焊接固定有两个隔板，两个所述隔板将实验槽内部分隔形成蚀刻槽、清洗槽和干燥槽。本发明中，通过夹持机构固定待测材料板配合设置滑动机构带动待测材料板依次通过蚀刻槽、清洗槽和干燥槽，对待测材料板进行蚀刻、清洗和干燥，然后在通过滑动机构将待测材料板送入到测定箱，测试蚀刻深度，计算出蚀刻效率，从而使得该蚀刻液
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117388298A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311318281.0
(22)申请日2023.10.12
(71)申请人安瑞森（宿迁）电子材料有限公司
地
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