一种提高仿真结果鲁棒性方法、系统以及存储介质.pdfVIP

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2024-01-13 发布于四川
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一种提高仿真结果鲁棒性方法、系统以及存储介质.pdf

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本发明涉及计算光刻技术领域，具体涉及一种提高仿真结果鲁棒性方法、系统以及存储介质，一种提高仿真结果鲁棒性方法包括以下步骤：提供一套刻标记，设定该套刻标记的结构参数；基于结构参数获取一初始周期结构，并根据结构参数计算得出该初始周期结构的结构分布；设定一预设条件，若初始周期结构的结构分布满足预设条件，则基于初始周期结构的位置进行平移，得到目标周期结构进行输出；否之则将初始周期结构作为目标周期结构输出；将目标周期结构带入仿真过程，得到目标仿真结果，解决了现有技术中在对套刻标记进行仿真分析时鲁棒性较差的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117389115A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311269755.7

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人东方晶源微电子科技（上海）有限公