应用于槽式清洗设备中的干燥系统.pdfVIP

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2024-01-13 发布于四川
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应用于槽式清洗设备中的干燥系统.pdf

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本申请公开了一种应用于槽式清洗设备中的干燥系统，包括：干燥槽，其用于对清洗后的晶圆进行干燥；清洗槽，其位于干燥槽内，其用于对晶圆进行清洗；至少一个出气口，该出气口是槽式清洗设备中用于通入氮气的出气口，其用于当干燥系统工作时，当晶圆从清洗槽中的去离子水中拉起时，通过出气口向干燥槽通入氩气。本申请通过将槽式清洗设备中的氮气出气口用于通入氩气，当干燥系统工作时，当晶圆从清洗槽中的去离子水中拉起时，通过该出气口向干燥槽通入氩气，由于氩气的密度大于空气因此可以沉入干燥槽较低的位置将空气排挤干净，提升了槽体

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117393465A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311248384.4

(22)申请日2023.09.26

(71)申请人华虹半导体（无锡）有限公司

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