半导体温控设备控制方法及装置.pdfVIP

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2024-01-10 发布于四川
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半导体温控设备控制方法及装置.pdf

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本申请涉及温度控制技术领域，提供一种半导体温控设备控制方法及装置。该方法包括：获取半导体温控设备的负载信息；若确定半导体温控设备的负载为空载或恒定负载，则控制半导体温控设备的制冷系统的制冷量为第一预设值，控制半导体温控设备的加热系统的加热量为第二预设值；若确定半导体温控设备的负载为变化负载，则控制制冷系统的制冷量为第三预设值，控制加热系统的加热量为第四预设值；其中，第三预设值大于第一预设值，第四预设值大于第二预设值。根据本申请实施例的半导体温控设备控制方法，降低了空载和恒定负载状态时的设备能耗，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117369553A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311175827.1

(22)申请日2023.09.12

(71)申请人北京京仪自动化装备技术股份有限