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本发明的四曲等高微晶盖板抛光设备包括:真空系统及研磨系统,所述真空系统用于提供负压,并通过负压将产品固定在治具表面;所述研磨系统包括治具以及位于治具上方的研磨件,其中,所述治具与所述研磨件在研磨时进行相对转动的同时,所述研磨件本身进行自转。本发明的抛光设备研磨件与治具产品在研磨时进行正反相对转动,研磨件本身同时进行自转,该研磨方式对四曲等高微晶盖板凹面的更有利,能研磨到四个死角使产品表面无桔纹不良和PV值不良。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117359483A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311567440.0B24B57/02(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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