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本申请实施例公开了一种MEMS微镜及相关设备，有效抑制了MEMS微镜的动态形变，提升了MEMS微镜的光学性能。该MEMS微镜包括：反射结构、支撑结构、第一固定结构、驱动结构和第一悬臂梁。反射结构通过第一悬臂梁与第一固定结构连接，驱动结构用于驱动反射结构绕第一转轴旋转，反射结构的正面用于对入射光进行反射，支撑结构固定在反射结构的反面。反射结构的反面包括目标区域和除目标区域外的非目标区域。目标区域内任意位置与反射结构的中心之间的连线与第一转轴之间的夹角大于第一阈值且小于第二阈值。非目标区域覆盖第一转
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117369114A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202210761151.3
(22)申请日2022.06.30
(71)申请人华为技术有限公司
地址5181
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