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本发明提供了一种避免钛薄膜氧化的高温高压吸气系统，涉及紧凑型氘氘加速器中子源在中子测量及辐照中应用的技术领域，利用高真空抽气机组对薄膜制备腔室和薄膜吸气腔室进行真空抽气，实现两腔室10‑5Pa量级高真空获得；随后在薄膜制备腔室内利用磁控溅射镀膜技术制备微米级高纯钛薄膜；完成钛薄膜制备之后利用磁力杆传动装置将钛薄膜样品在高真空环境中送入薄膜吸气腔室，并在高真空环境下对钛薄膜样品进行加热升温；随后利用插板阀隔离装置将薄膜吸气腔室与薄膜制备腔室隔断，向薄膜吸气腔室内充入高纯高压气体，最终实现钛薄膜避免
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117364024A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311335657.9
(22)申请日2023.10.16
(71)申请人合肥综合性国家科
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