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2024-01-10 发布于四川
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本发明提供的位移测量装置中，读头模块接收和引导入射光束传播，第一入射光束在读头模块的引导下回射至衍射元件并沿Y方向衍射产生至少两路第一二次衍射光束，第二入射光束在读头模块的引导和分光作用下回射至衍射元件并沿X方向衍射产生两路第二二次衍射光束；两路第二二次衍射光束分别与至少一路第一二次衍射光束至少部分重叠的射出，以形成第一干涉光束和第二干涉光束。光信号处理模块基于第一干涉光束和第二干涉光束的相位变化量确定衍射元件的二维位移量。其中，第一和第二入射光束的一次衍射光束回射至衍射元件的位置至少部分重叠，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117367285A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202210771637.5

(22)申请日2022.06.30

(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公

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