薄膜体声波滤波器制备方法及薄膜体声波滤波器.pdfVIP

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2024-01-10 发布于四川
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薄膜体声波滤波器制备方法及薄膜体声波滤波器.pdf

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本公开提供了一种薄膜体声波滤波器制备方法及薄膜体声波滤波器，可以应用于半导体技术领域。该方法包括：提供一衬底，衬底包括空腔结构，空腔结构中填充有牺牲层材料，空腔结构通过释放结构连接衬底的表面；采用蒸镀法或溅射法，自牺牲层材料的表面向上依次形成下电极层、压电层、上电极层、钝化层和钝化层临时保护层；利用含有氢氟酸的溶液作为牺牲层去除液，通过释放结构对牺牲层材料进行化学腐蚀，以去除牺牲层材料；以及去除钝化层临时保护层，得到薄膜体声波滤波器。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117375548A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311178160.0

(22)申请日2023.09.13

(71)申请人开元通信技术（厦门）有限公司

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