一种光刻机光栅测量标定系统.pdfVIP

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2024-01-10 发布于四川
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一种光刻机光栅测量标定系统.pdf

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本发明提供了一种光刻机光栅测量标定系统，涉及光栅测量技术领域，包括机架、运动方向相互独立的运动系统、平面光栅组件、光栅读数头组件、激光干涉仪组件、跟随运动系统、真空波纹管组件和反射镜组件，所述真空波纹管安装在跟随运动系统上，并且位于对应的激光干涉仪和反射镜之间，所述跟随系统固定在机架上，并跟随运动系统运动；光栅读数头组件和平面光栅组件分别固定在运动系统的X向和Y向上。光栅读数头与平面光栅相互配合并实时反馈被标定件X向、Y向直线位移量以及分别绕X轴、Y轴、Z轴的旋转角度，对比光栅读数头和激光干涉仪

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117367746A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311126242.0

(22)申请日2023.09.01

(71)申请人清华大学

地址100084