一种薄膜热电偶及其制备方法.pdfVIP

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2024-01-06 发布于四川
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一种薄膜热电偶及其制备方法.pdf

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本发明涉及温度传感器技术领域，具体而言，涉及一种薄膜热电偶及其制备方法。本发明的薄膜热电偶，包括基底、复合金属膜层和绝缘保护层，所述复合金属膜层位于所述基底和所述绝缘保护层之间；所述复合金属膜层包括多个A金属薄膜和多个B金属薄膜；每个A金属薄膜包括A焊盘、A导线和A结点，A导线位于A焊盘和A结点之间，每个B金属薄膜包括B焊盘、B导线和B结点，B导线位于B焊盘和B结点之间；A结点和B结点呈交替层叠设置，多个A焊盘层叠设置，多个A导线层叠设置，多个B焊盘层叠设置，多个B结点层叠设置。本发明的薄膜热电

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117346911A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311300462.0

(22)申请日2023.10.09

(71)申请人北京亿华通科技股份有限公司

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