一种大直径低位错锗单晶热场系统及配置方法.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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一种大直径低位错锗单晶热场系统及配置方法.pdf

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本发明公开了一种大直径低位错锗单晶热场系统及配置方法，包括炉体、坩埚、保温层、托杆以及加热装置；所述保温层在炉体内壁，所述坩埚设置在炉体内部中心，所述托杆的上端与坩埚连接，下端穿过炉体；所述加热装置包括筒状加热器、底座以及高度调节装置，所述底座上设有石墨电极，所述筒状加热器通过石墨螺栓固定设置在石墨电极上，所述底座通过高度调节装置可调节的设置在炉体内；所述筒状加热器从上至下包括第一环形段、锥面段以及第二环形段，三段式筒状加热器降低了热场中的温度梯度、结晶液位温度平稳，通过液位检测仪实时监测液位高

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117305969A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202311055377.2

(22)申请日2023.08.22

(71)申请人江苏宁达环保股份有限公司

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