光学陀螺仪以及制造光学陀螺仪的方法.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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光学陀螺仪以及制造光学陀螺仪的方法.pdf

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基于光学环形谐振器的陀螺仪包括：光子集成电路(PIC)芯片，其包括多个光学元件，多个光学元件包括谐振器环；以及印刷电路板，其包括多个电气部件，光子集成电路安装在印刷电路板的表面上，光子集成电路和印刷电路板电连接。光子集成电路(PIC)芯片包括：基板；介电层；第一波导层，其形成至少环形谐振器和反射器部分；第二波导层，其形成至少设置在多个反射器部分中的一个上方的竖直布拉格光栅耦合器、芯片波导；封装在介电层中的磁光层；以及形成多个金属连接焊盘的金属层以及用于将PIC芯片电连接至电子部件的多条导线迹线。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117321384A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202280035323.7(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限