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本发明涉及一种扫描电子显微镜图像漂移矫正方法、设备、介质及产品，该方法包括步骤：采集基准图像和当前图像；对采集的基准图像和当前图像分别进行特征提取，得到基准图像对应的目标特征点集合和当前图像对应的目标特征点集合；将基准图像对应的目标特征点集合和当前图像对应的目标特征点集合进行特征匹配；分解匹配后的特征点对的漂移参数，调整电镜的偏转线圈对漂移进行补偿。本发明相较于传统的漂移矫正方法，能够准确、快速、实时的矫正漂移量，有利于后续对于样品的测量以及表征。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117315650A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202210707767.2G06V10/24(2022.01)
(22)申请日2022.06.
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