MEMS麦克风及麦克风加工工艺.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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MEMS麦克风及麦克风加工工艺.pdf

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本申请实施例公开了一种MEMS麦克风及麦克风加工工艺，MEMS麦克风包括基底以及安装于所述基底上的第一振膜、第二振膜以及背极板，所述第一振膜与第二振膜之间设置有支撑柱，所述背极板上设有通孔，所述支撑柱穿过所述通孔，所述支撑柱包括连接于所述第一振膜连接的第一支撑柱、连接于所述第二振膜的第二支撑柱，所述第一支撑柱和/或所述第二支撑柱采用塑性材料制成。本申请实施例的一个技术效果在于通过将第一支撑柱和/或第二支撑柱采用塑性材料制成，从而实现在对振膜提供足够支撑的前提下，大幅度降低应力集中效应，从而提高了

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117319907A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202210706762.8

(22)申请日2022.06.21

(71)申请人歌尔微电子股份有限公司

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