一种碳化硅外延设备.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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一种碳化硅外延设备.pdf

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本申请公开一种碳化硅外延设备，该碳化硅外延设备包括：壳体，壳体的顶部具有喷淋部件；隔离部件，其设于壳体内；内筒，其设置于壳体内；保温层，其设于内筒与所述隔离部件之间；至少一组加热组件，其设于内筒的外周壁与保温层的内壁之间；保温层包括依次沿壳体的轴向排布的第一保温层、第二保温层及第三保温层，其中第一保温层靠近喷淋部件侧；第一保温层内包括至少两个隔热层板，隔热层板之间形成供气体流动的流道。通过对加热区域采用不同控温方式使壳体内部环境保持稳定，通过不同部位的保温结构设计来解决壳体内部的温度场稳定性问题

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117305978A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202311075448.5C30B25/12(2006.01)