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本发明涉及一种高加工鲁棒性的异环宽MEMS多环陀螺，属于微机电系统领域。该MEMS多环陀螺在平面内拥有全对称结构，由中心固定锚点、多圈的同心圆环结构、辐条结构和电极组成。所述的中心固定锚点为圆形，由外部结构固定，和多圈的同心圆环结构拥有同一圆心，最内圈同心环通过辐条和锚点相连。所述的多圈同心圆环之间通过辐条相连，同心圆环宽度可根据需求调整，各个同心圆环之间的间距不等。所述的多圈的同心圆环结构分为单环和双环结构，每一对双环结构之间通过短辐条连接，每两对双环之间由长辐条连接。双环结构分为壁厚较薄部分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117308904A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202310672503.2
(22)申请日2023.06.08
(71)申请人西北工业大学
地址710072
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