一种自驱动自旋传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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一种自驱动自旋传感器及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种自驱动自旋传感器及其制备方法。本发明自旋传感器的惠斯通电桥由四个磁敏电阻单元组成，两对磁敏电阻单元基于相同组分的自旋电子材料且具有正、负不同的磁场响应特性，不需要依赖电流导线结构、永磁结构或者软磁屏蔽结构等特定的器件结构，具有自驱动输出信号的优点和特点。提出一种新颖的“材料器件一体化”磁敏电阻单元制备方法，通过磁控溅射与两步掩膜版相结合在硅衬底上直接获得图案化得到的两对自旋阀磁敏电阻单元，不需要通过光刻、刻蚀等图案化加工工艺步骤，且器件的功能实现的相关后续工艺也不需要软磁屏蔽或者磁

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117320536A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202310393134.3

(22)申请日2023.04.13

(71)申请人杭州电子科技大学