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本实用新型涉及离子化装置技术领域，具体为一种用于团簇束流源的离子化装置，包括：网状筒体，所述网状筒体筒壁由若干个长条孔形成的镂空状；固定组件，所述固定组件套设在所述网状筒体两端，所述固定组件的外表面开设有若干个第一螺孔，所述第一螺孔的内部安装有第一螺栓，所述第一螺栓用于固定两个固定组件之间的钨丝。本实用新型通过将钨丝与固定组件分别接上5V电压，产生30A电流，电流经过钨丝使钨丝发光发热产生电子，气体分子经过钨丝发生离化，使团簇粒子带正电荷，在气体团簇生成过后一般是由电子或者光子来电离的。电子从热
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220272418U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202321840821.7
(22)申请日2023.07.13
(73)专利权人江苏集创原子团簇科技研究院有
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