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本实用新型属于半导体设备制备技术领域，具体涉及一种涂布机供液系统，本涂布机供液系统包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、第一检测机构、第二检测机构，以及分别与第一缓冲罐、第二缓冲罐连接的药液处理机构；所述第一检测机构适于检测第一缓冲罐的进液口；所述第二检测机构适于检测第二缓冲罐的进液口；在任一缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机构的涂布液继续供给到涂布刀。本实用新型的涂布机供液系统，设置两个缓冲罐，当其中一个缓冲罐的进液口检测到气泡时，切换另一缓冲罐工作，以使流经药液处理机
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220258580U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202322000229.2
(22)申请日2023.07.27
(73)专利权人常州捷佳创精密机械有限公司
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