有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及金刚石制造领域，尤其涉及一种用于MPCVD设备的生长台及基片台。用于MPCVD设备的生长台，生长台包括至少两个分体台，至少两个相邻的分体台之间设置有导热结构，导热垫为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫或者增减导热垫的数量调整导热结构的导热能力。生长台的导热能力可调，那么也就是说生长台和冷却台之间的导热效率不再恒定，可以依据需求进行生长台和冷却台之间导热能力的调整，进而解决了现有技术中生长台与冷却台之间的导热效率恒定，当MPCVD设备的功率变化，生
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220265838U
(45)授权公告日2023.12.29
(21)申请号202322163835.6
(22)申请日2023.08.11
(73)专利权人河南天璇半导体
文档评论（0）