用于调节和引导辐射束的装置.pdfVIP

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2023-12-30 发布于四川
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用于调节和引导辐射束的装置.pdf

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一种用于调节和引导辐射束的装置，包括第一光学部件和能量传感器。第一光学部件包括可独立移动的反射光学元件的二维阵列，该可独立移动的反射光学元件的二维阵列被布置为从辐射源接收辐射。可独立移动的反射光学元件的二维阵列包括：第一集合，被配置为将所接收到辐射的第一部分引导到能量传感器；以及第二集合，被配置为将所接收到的辐射的第二部分引导到照射区域。第一集合中的多个反射光学元件可以使得辐射的第一部分的能量小于辐射的第一部分和辐射的第二部分的总能量的4％。反射光学元件的第一集合中的反射光学元件可以均匀分布在第

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117321505A

(43)申请公布日2023.12.29

(21)申请号202280034654.9(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所