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本申请实施例涉及一种抑制沉积管及压力检测装置，抑制沉积管包括：管道主体，具有进气口、出气口和气流通道，进气口和出气口位于气流通道的两端；多条分隔壁，多条分隔壁间隔设置于气流通道内，以将管道主体分隔为多条独立通道，多条独立通道弯曲设置，以使沿管道主体方向的进入管道主体内的流体均可以与分隔壁接触，将抑制沉积管设置在流体到达应变膜片前的位置，在流体经过时使流体、流体内的杂质颗粒及电离态杂质充分与分隔壁接触，以使杂质颗粒及电离态杂质在到达传感器的应变膜片前充分附着在分隔壁上，减少杂质粒子及电离态杂质对应
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117309226A
(43)申请公布日2023.12.29
(21)申请号202210732135.1
(22)申请日2022.06.22
(71)申请人中国科学院微电子研究所
地址1
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