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本发明涉及半导体领域，公开一种光阻收集杯清洗装置。光阻收集杯清洗装置包括：涂胶腔室、第一刮除机构、排废管，第二刮除机构、第一驱动机构和第二驱动机构；第一刮除机构位于涂胶腔室内；第一驱动机构与第一刮除机构传动连接，用于驱动第一刮除机构相对涂胶腔室的内侧壁运动，以刮除内侧壁上的残留物；排废管设置于涂胶腔室的底部，第二刮除机构位于排废管内；第二驱动机构与第二刮除机构传动连接，用于驱动第二刮除机构相对排废管的管壁运动，以刮除管壁上的残留物。大大缩短了清洗时间且清洗的较为彻底，在一定程度上降低了清洗频率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115193856A
(43)申请公布日2022.10.18
(21)申请号202210864605.X
(22)申请日2022.07.21
(71)申请人长鑫存储技术有限公司
地址230
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