一种晶圆驱动定位装置.pdfVIP

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2023-12-23 发布于四川
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一种晶圆驱动定位装置.pdf

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本发明提供一种晶圆驱动定位装置，包括晶圆托盘，晶圆托盘的两侧分别可转动连接有第一传动臂和第二传动臂，还包括依次排列安装的第一磁性联轴器、第二磁性联轴器、第二驱动电机和第一驱动电机，第一磁性联轴器包括第一内磁圈和第一外磁圈，第二磁性联轴器包括第二内磁圈和第二外磁圈；第一驱动电机的电机轴穿过第二驱动电机的电机轴，并且连接于第一内磁圈；第二驱动电机的电机轴连接于第二内磁圈；第一传动臂连接于第一外磁圈，第二传动臂连接于第二外磁圈。本发明通过双电机分别直接驱动两个磁性联轴器，保证了两个磁性联轴器的同轴度，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117265515A

(43)申请公布日2023.12.22

(21)申请号202311409700.1

(22)申请日2023.10.27

(71)申请人盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司