用于承载硅片的拼接卧式硅舟及加工方法.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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用于承载硅片的拼接卧式硅舟及加工方法.pdf

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一种用于承载硅片的拼接卧式硅舟加工方法，采用分段加工，加工难度低，材料损耗小，成本低，效率高。采用螺纹和卡槽进行拼接固定，成本低，强度高，后续高温环境使用适应性、稳定性好。各拼接部件为标准部件，并且可拆卸，使用过程中硅舟某一部件损坏可以进行单独更换，无需整体报废。不需要配套的工装进行辅助加工。本发明还提供了一种用于承载硅片的拼接卧式硅舟。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117253830A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311371131.6

(22)申请日2023.10.23

(71)申请人宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限