适用于高通量柔性钙钛矿太阳电池卷到卷制备的线性蒸镀源.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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适用于高通量柔性钙钛矿太阳电池卷到卷制备的线性蒸镀源.pdf

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本发明提供一种适用于高通量柔性钙钛矿太阳电池卷到卷制备的线性蒸镀源，包括进料装置、闪蒸器、整流罩、加热系统、温度控制系统和冷却屏蔽结构；所述进料装置包括直线步进电机、螺杆和料筒；所述闪蒸器的入口与所述料筒相连通；所述直线步进电机用于驱动所述螺杆推动蒸镀原料进入所述闪蒸器，所述闪蒸器用于将蒸镀原料加热气化；所述整流罩包括气盒和若干喷嘴；所述喷嘴用于将所述气盒内部蒸汽喷出；所述温度控制系统用于控制所述闪蒸器、所述气盒加热模块和所述喷嘴加热模块的加热温度；所述冷却屏蔽结构设置于所述整流罩外侧。本发明的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117248181A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311216633.1(51)Int.Cl.