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2023-12-20 发布于四川
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CVD晶圆反应电场发生机构.pdf

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本申请公开了一种CVD晶圆反应电场发生机构，包括第二作业板和供电装置，通过供电装置对第二作业板通电，第二作业板用作电场发生器、能够构建电场从而促进气相沉积反应；供电装置包括电源、导电条、第一导电块、第二导电块和导电片，电源供电，电流通过导电条、第一导电块、第二导电块和导电片作用于第二作业板；第一导电块和第二导电块中的一者的接触端设置为凸状、另一者的接触端设置为凹状；第二作业板上设有容纳槽，导电片处于容纳槽中；通过设置导电条、第一导电块、第二导电块和导电片，既适应了箱体与盖体的开合结构、提高了设备

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117248200A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311516811.2

(22)申请日2023.11.15

(71)申请人无锡尚积半导体科技有限公司

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