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本发明一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法，涉及超精密加工技术领域，为解决现有磨削加工方法产生的表面损伤和亚表面损伤，限制了半球谐振子加工精度的进一步提升的问题。本发明采用陶瓷基CBN砂轮，构建砂轮的加工轨迹，并进行工件和砂轮的对刀，确定砂轮在工件坐标系中的相对位置，采用湿磨削加工工艺按加工轨迹进行磨削加工，磨削至接近预期尺寸，关闭磨削液泵，加工区域不添加任何磨削液，按加工轨迹进行精磨削，至完成超精密磨削。本发明在最后工序采用干磨削的加工方式将半球谐振子的材料去除方式从脆性去除转
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117245454A
(43)申请公布日2023.12.19
(21)申请号202311327638.1B24B57/02(2006.01)
(22)申请日2023.10.
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