一种VMB气体分流箱.pdfVIP

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2023-12-20 发布于四川
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一种VMB气体分流箱.pdf

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本申请涉及一种VMB气体分流箱，属于半导体制造技术领域，包括箱体、安装板、进气管路和吹扫管路，所述进气管路和吹扫管路均设置在安装板上，所述安装板设置在箱体内，所述吹扫管路上设置有第一管路和第二管路，所述第一管路和第二管路均与进气管路连通，所述吹扫管路包括进气管道和出气管道，所述进气管道与第一管路连通，所述出气管道与第二管路连通，所述出气管道的一个端口用于连接真空发生器、另一个端口用于连接外部气体排放回收系统。本申请具有提高对进气管路的清扫效果的优点。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117249387A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311377687.6

(22)申请日2023.10.23

(71)申请人上海韩科建设工程有限公司

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