基于二维散射实现光学元件表面缺陷的评估方法及系统.pdfVIP

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2023-12-16 发布于四川
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基于二维散射实现光学元件表面缺陷的评估方法及系统.pdf

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本发明涉及光学技术领域，具体提供一种基于二维散射实现光学元件表面缺陷的评估方法及系统，评估方法包括：对光学元件的多个表面缺陷进行检测，导出二维散射数据进行拟合得到仿真数据；评估表面缺陷造成的杂散光对望远镜系统的影响情况，并将建模后的结果导入到杂散光分析软件中，实现精确建模；根据出射面区域的不同位置赋予不同的散射属性；根据各表面缺陷的形状相对设置不同的光源，形成与表面缺陷相同的光线路径；设置匹配光源，并精确建模对各视场内光线进行追迹；对追迹后的各视场内光线进行分析得到的像面杂光数据，对光学元件的辐

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117232790A

(43)申请公布日2023.12.15

(21)申请号202311470300.1G01N21/01(2006.01)

(22)申请日2023.11.