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本发明提供一种多层级结构的微型气体传感器，包括由下到上依次设置的基片、底绝缘层和至少两个气敏单元层，底绝缘层与基片之间设有加热‑测温电极，各个气敏单元层之间紧密贴合；每个气敏单元层包括由下到上依次设置的多孔绝缘层和气敏膜，多孔绝缘层与气敏膜之间设有测量电极；其中，多孔绝缘层的横截面积分别大于测量电极的覆盖面积和气敏膜的覆盖面积，气敏膜完全覆盖测量电极。本发明充分利用不同气体分子在多层级结构的气敏膜上的反应差异，增强气体检测的选择性；利用气体扩散过程时间差异提供的额外信息，增强了信号分离能力，与时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117214240A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202310979357.8B33Y10/00(2015.01)
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